深圳市泰潔爾凈化科技有限公司(總部)
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深圳市泰潔爾凈化科技有限公司武漢分公司
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凈化等級一般分為100級、1000級、10000級、100000級,現(xiàn)在2010年版的GMP凈化車間已經(jīng)不用這個叫法了,分為ABCD級別,分別相對應于98版的幾個級別,通過檢測區(qū)域內(nèi)的塵埃粒子數(shù)、浮游菌數(shù)、沉降均數(shù)評價凈化級別,各個級別有不同的要求,凈化等級分靜態(tài)、動態(tài)兩種。
(一)潔凈室之等級世界各國均有自定規(guī)格,但普遍還是用美國聯(lián)邦標準209為多,以下僅就209D及209E和世界上其它各國制定標準作介紹與相互比較?! ?/span>
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位
增加了公制單位,潔凈室等級以‵M′字頭表示,如M1、M1.5、M2.5、M3….以此類推,配合國際公制單位之標準化,M字母后之阿拉伯數(shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)目字以10的冪次方表示,取指數(shù)為之,若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間,則以1.5、2.5、3.5….表示。
潔凈網(wǎng)z:Wg1pj 美國聯(lián)邦標準FS 209D都以英制每立方英尺為單位,日本則是采用公制,即以每立方公尺為單位,以0.1μm微粒子為計數(shù)標準。日本標準之表示法以Class 1,Class 2,Class 3……Class8表示,最好的等級為Class 1,最差則為Class 8,以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方,取其指數(shù)而得。
(二)潔凈室之定義 潔凈室(Clean Room),亦稱為無塵室或潔凈室?! 笣崈羰摇故侵笇⒁欢臻g范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性?! ?/span>
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為「潔凈室」。
(三)潔凈室控管之項目
1.能除去空氣中飄游之微塵粒子?! ?/span>
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生?! ?/span>
3. 溫度和濕度之控制?! ?/span>
4. 壓力之調(diào)節(jié)?! ?/span>
5. 有害氣體之排除?! ?/span>
6. 結構物與隔間之氣密性?! ?/span>
7. 靜電之防治?! ?/span>
8. 電磁干擾預防。
9. 安全因素之考慮。
10. 節(jié)能之考量。